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H4 品质核查

按 H4 内规逐圈核查提出書類1、2，导出光谱判定明细。文件在当前设备处理。

内规标准

首次使用请选择 H4-内規ﾃﾞｰﾀ(20260202).xlsx

批次资料

添加本批的步留表和提出書類1、2。可分次追加。

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查看八项核查要求
  1. 按罩号将出荷日、出荷ロット、作成日与步留表对应字段核对，同时检查两份提出书中的字段空格和对应指标的显示小数位数。
  2. 提出书 1 出货检查成绩书的作成日（成績書!J1）须等于步留表检查日。报告列出双方位置、数值和结果。
  3. 800 nm 反射率须严格大于 96%。逐圈核对两份提出书的对应判定，超限或未投入的圈位应判 NG。
  4. 逐格核查提出书 1 成绩书的 OK 列（J15:J22），将 NG 标红。
  5. 核查提出书 1 的总判定（成績書!G10）及对应分项与逐圈判定，标出不合格及判定冲突的位置。
  6. 提出书 1 成績書!D33 的第 7 圈数量为 0 或留空均为 OK。第 1 至 6 圈的数量逐圈与步留表核对，差异标红。
  7. 分别检查提出书 1、2 的外部链接。发现时在报告中标红，有对应单元格时也在副本中标红。
  8. 检查提出书 2 的 T graph!N1 和 T graph (2)!N1 是否相同，并逐一与该机台在《内规版本号》对照表中指定的 H4 版本核对。